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国内首套高精度圆度基准装置建成测量不确定度降至6nm
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国内首套高精度圆度基准装置建成测量不确定度降至6nm
2026-07-17
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中国钟表协会7月15日消息,据央视新闻报道显示,中国计量科学研究院自研的国内首套高精度圆度基准装置正式落地,我国高精度圆度测量技术迈入国际先进行列。
圆度是精密制造核心几何参数,长期我国缺少国家级圆度量值溯源基准,制约半导体、高端机床、航空航天等产业发展。这套新装置攻克主轴误差分离、高精度圆度评定等国际难题,自研全新计算模型与误差抑制方案,把圆度测量不确定度从20nm压缩至6nm,核心技术实现自主可控,打破海外长期垄断。
该设备补齐国家几何量计量体系短板,可为半导体芯片、精密光学元件、高端主轴制造提供高精度量值溯源支撑,夯实制造强国、质量强国计量基础。
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